Description
Компания Royal Technology разработала катоды распыления с высоким выходом и высокой целевой эффективностью, особенно для распыления редких и дорогостоящих металлов: осаждение металлических пленок Au Gold, Ta Tantalum, Ag серебра. Система осаждения пленки высокой однородности служит нескольким отраслям, таким как детали электроники, медицинские инструменты, которые требуют высокой однородности пленки, многослойное осаждение.r
r
Магнетронные процессы с неуравновешенным и замкнутым полем обладают всеми преимуществами плоских магнетронов. Дополнительные преимущества и недостатки:r
r
Дополнительная ионная бомбардировка, приводящая к плотным прилипшим пленкамr
Возможна ионная помощь и чистка подложкиr
Улучшенные трибологические, износостойкие и коррозионно-стойкие пленкиr
Подходит для многослойных, сверхрешеточных, наноламинационных и нанокомпозитных пленокr
Слабое использование материаловr
Более сложная конфигурация катода / расход
