Description
Спецификация
Диапазон энергии
400 эВ до 5 кэВ (опционально 10 эВ)
Макс. ток луча
> 10 мкА при напряжении 5 кэВ
> 100 нА при 15 эВ (опция 10 эВ)
Диаметр луча
между 300 мкм и 2»’ при напряжении 5 кэВ
Встроенное выравнивание портов
Да
Катод
Оксид иттрия с покрытием из вольфрама
(необязательно) Иридиевое волокно
Рабочее расстояние
30 мм — 300 мм
Глубина погружения
173 мм
Давление в камере во время работы
5×10-7 mbar — 1×10-8mbar
Монтажный фланец
СР. 35/2¾» ЗАПАХ
Интерфейс электроники
TCP/IP
Программное обеспечение для управления
Программное обеспечение «ProIon» на базе LabVIEW™
FDG 15 использует то же проверенное поколение лучей, что и FDG 150, и может использоваться в качестве замены для всех применений, где, например, ранее использовался широкораспространенный, но уже недоступный ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON).
Кроме того, FDG 15 поставляется с более гибкой ионной оптикой для регулировки на большие рабочие расстояния и дополнительной стабилизацией ионного потока.
