Описание
Емкость измельчения 300 см³ или 500 см³
Большое открытие клапана
Точное и очень быстрое управление потоком воздуха
Высокая чистота условий эксплуатации
Простота в обращении и дозаправке
Встроенный кожух водяного охлаждения
Источник крекинга мышьяка Valved Arsenic Cracker Source был разработан для высокоэффективного выращивания материалов III-V классов. Он специализируется на сублимации As4 или As2 и сочетает в себе большой объем тигля объемом 300 см³ или 500 см³ с точным и быстрым регулированием потока. Управление потоком в диапазоне давлений более чем на два порядка обеспечивается встроенным механизмом клапана. Типичное соотношение включения/выключения составляет около четырех порядков величины по показаниям давления.
Благодаря большому открытию клапана он позволяет эффективно перекачивать мышьяковый резервуар в открытом положении. Клапанный блок может управляться вручную или с помощью блока управления клапаном. Встроенный кожух водяного охлаждения и использование выбранных материалов для ячеек и клапанных блоков гарантирует условия работы с высокой степенью чистоты. Режим работы источника может быть легко изменен с As4 на As2 в зависимости от условий работы интегрированной установки крекинга.
