Описание
Особенностиr
r
Высокопроизводительное фрезерование * 1r
r
Высокая скорость фрезерования поперечного сечения, достигаемая новым источником ионов:1.2 мм/ч или более* 2r
(2.4 раз чем предыдущая скорость фрезерования.)r
r
Высокопроизводительная фрезерная система оптимизирует электроды источника ионов и позволяет использовать более высокие ускоряющие напряжения, тем самым улучшая плотность тока ионного пучка.r
Наш недавно разработанный ионный источник обеспечивает высокую скорость фрезерования поперечного сечения 1.2 мм/ч и более (в 2.4 раза больше, чем предыдущая скорость фрезерования).r
r
Скорость фрезерования поперечного сечения нового источника ионовr
r
Образец: кремниевая пластинаr
Ускоряющее напряжение: 10кВr
Время измельчения: 1 часr
r
Фрезерование поперечного сечения легкоплавкого сплава (охлаждение)r
r
Ускоряющее напряжение: 10 кВr
Время измельчения: 30 мин.r
r
На правом изображении СЭМ показан сплав Sn-Bi с температурой плавления 150°C.r
Металл с низкой температурой плавления может быть расплавлен из-за тепла обработки, поэтому перед фрезерованием требуется охлаждение металла. Высокопроизводительное фрезерование применяется к термочувствительному образцу, в то время как образец остается охлажденным. * 3.r
Затем за короткое время получают образец поперечного сечения с уменьшенным тепловым повреждением.r
r
Фрезерование больших площадей ＊1,＊4r
r
Плоское фрезерование поверхности Большая площадьr
r
Новая высокопроизводительная фрезерная система позволила облучать ионным пучком большую площадь образца.r
Плоское фрезерование поверхности эффективно для удаления царапин, образовавшихся на поверхности образца, или кристаллических деформаций, вызванных механической полировкой.
