Описание
Высокая скорость и высокое разрешение при сохранении стабильности сверхточных измерений. Идеально подходит для прецизионных стадий, систем контроля/производства полупроводников и сверхточных обрабатывающих станков.
Шкала высокого разрешения с шагом сигнала около 138 нм, превосходящая по своим характеристикам световолновые интерферометрические системы
Высокая стабильность, не подверженная влиянию влажности, атмосферного давления и воздушных возмущений
Точность опорной точки: ±0,1 мкм
Бесконтактная конструкция исключает ошибку возврата.
Измерительная длина: 9 типов (-R/-RS)
Измерительная длина: 10 типов (-N/-NS)
Доступны специальные немагнитные и совместимые с вакуумом модели
Использование стекла с низким расширением: -0,7 x10-6 °C (длина измерения: от 10 до 420 мм)
Разрешение: 2,1 пм
