Описание
Печи
Наши печи полностью автоматизированы с удобными инструментами и проектируются для обоих процессов с различными контролируемыми зонами нагрева в полном соответствии с возможностями и потребностями клиентов.
Наше оборудование предназначено для этих типов пластин диаметром 100, 150, 200, 300 мм.
АТМОСФЕРНЫЕ ПЕЧИ
Vegatec разрабатывает и производит атмосферные печи со всей своей системой автоматизации для лабораторий и промышленности микроэлектроники, наноэлектроники и фотовольтаики. Эти печи следующие,
Печи окисления (влажное окисление и сухое окисление)
Диффузионные печи
Допинговые печи
Печи отжига
Общие характеристики атмосферных печей
Простой в использовании и обслуживании благодаря удобному дизайну
Держатель образцов печной камеры и консольного типа из кварца высокой чистоты
Способен работать в чистых помещениях до 10 класса
Длительный срок службы благодаря высококачественным компонентам
Отдельно контролируемые зоны нагрева
Простой интерфейс автоматизации
Штабелируемые трубы печи для компактного проектирования различных процессов одновременно
Возможность ручной или автоматической загрузки
Вместимость по каждому клиенту
лабораторный или промышленный масштаб
