Description
Система контроля температуры химической ванны
Встроенный блок управления температурой, работает с коммутационным блоком питания или блоком питания/регулятором температуры для замены удаленного чиллера.
Низкий расход, однопроходное химическое управление температурой
Прямое охлаждение технологической жидкости в мокрых скамейках.
Для полупроводниковых химических ванн объемом 3-30 галлонов для применения в условиях, близких к амбициозным
Диапазон рабочих температур: от -10°C до 35°C
Температура окружающей среды: от -10°C до 40°C без конденсации
Стабильность / Повторяемость: — ± 0,05°C (при типичной конфигурации)
Охлаждающая мощность: — 800 Вт при 25°C и 20°C технической воды
Теплопроизводительность: — 1000 Вт при 25°C и 20°C технической воды
Технологическая жидкость: — до 50% высокочастотный раствор, органические растворители, другие жидкости, совместимые с тефлоном PFA, гальванические ванны
Вода в помещении: —
2-4 галлона в минуту (8-15 л/мин) @ 10-35°C отфильтрованный, обработанный
рециркуляционная охлаждающая вода с pH: 6,5 — 8,2
Скорость потока технологической жидкости: —
4-10 галлонов в минуту (15-38 л/мин) с параллельным потоком (4:1 фитинги)
0.5-2 галлон/мин (2-8 л/мин) с последовательным расходом (опция низкого расхода)
Максимальное давление: —
Процесс: 90 фунтов на кв. дюйм
Объект: 100 фунтов на кв. дюйм
Фитинги из тефлона: — 3/4″ или 1″ Flaretek, или квитанция из тефлоновой трубы
Водопроводная арматура объектов — 3/8″ Женский NPT
Смоченные материалы: —
Процесс: тефлон HDPFA
Объект: Тефлоновый пропитанный анодированным алюминием
Размер (Д х Ш х В): —
17.5″ x 11,25″ x 4,65″ (44,4 см x 28,6 см x 11,8 см) с изоляцией
16″ x 9,75″ x 3,15″ (40,6 см x 24,8 см x 8,0 см) без изоляции
Вес: — 38 фунтов (17 кг)
Требования к электропитанию
(отдельное устройство): — переключатель 6600 установлен на 0-100 В пост. тока, 0-18,3 Ампер
Стандарты — Semi S2-0200, F47 совместимый, CE
Гарантия: — 2 года
