Description
Эта система автоматического хранения предназначена для системы чистой логистики полупроводников, которая хранит и сортирует вафли FOUP, FOSB, POD и кассеты. Она может быть реализована в различных формах, таких как камерный тип, стоечный тип и другие, которые соответствуют требуемым спецификациям различных полупроводниковых процессов.
Спецификация
Чистота окружающей среды: Класс1 ~ Класс1000
Скорость: 1,5 м/сек
Acc/Dec: 2.5m/sec²
Вибрация: Не более среднеквадратичной 0,5 G
Продувка: Постоянная продувка PN2
Контроль окружающей среды: влажность, температура, давление, концентрация кислорода
