Описание
Высокая производительность и высокая дальность измерения расхода газа.
Описание
В расходомерах серии CMS в качестве чувствительного элемента используется наш фирменный тепловой датчик расхода газа. Благодаря интеграции этого ультраминиатюрного датчика массового расхода, изготовленного по технологии микрообработки, и усовершенствованной ультратонкой канальной конструкции, был достигнут беспрецедентный уровень высокой точности и широкий диапазон измерений при невысокой стоимости.
Обладая как простотой использования, так и высокой надежностью, эти расходомеры установят стандарты на будущее.
Изготовленный по технологии микрообработки кремния и тонкопленочной технологии, этот тепловой тип расходомера имеет площадь всего 1,7 мм² и толщину 0,5 мм.
Использование сверхточной технологии обработки сводит к минимуму различия в расположении элементов и тепловой мощности. Высокое разрешение 1 мм/с по скорости потока и высокоскоростная реакция приблизительно 2 мс достигаются на уровне стружки датчика.
При отсутствии потока газа распределение температуры вокруг нагревателя симметрично. Когда газ начинает течь из Ru в Rd, температура на Ru выше по течению начинает снижаться, в то время как температура на Rd ниже по течению повышается, что приводит к искажению симметрии в распределении температуры.
Эта разница температур между Ru и Rd используется для расчета массовой скорости (скорость х плотность).
