Description
Модули | РФ спектрометр
Неинвазивное обнаружение неисправностей и мониторинг состояния камеры
RF спектрометр — это радиочастотный (RF) детектор, который непосредственно контролирует электрическое состояние плазмы снаружи плазменной камеры. Предназначен для обнаружения неисправностей на производственных инструментах без необходимости в линейном датчике в радиочастотном тракте. Доказано, что он обнаруживает утечки воздуха, смещение пластин и другие серьезные плазменные дефекты.
RF спектрометр — это радиочастотный (RF) детектор, который непосредственно контролирует электрическое состояние плазмы снаружи плазменной камеры. Предназначен для обнаружения неисправностей на производственных инструментах без необходимости в линейном датчике в радиочастотном тракте. Доказано, что он обнаруживает утечки воздуха, смещение пластин и другие серьезные плазменные дефекты.
