Описание
Микровес кристалла кварца Кванта разрешенный энергией gridded уникальная аппаратура для того чтобы измерить коэффициент ионов к нейтралям ударяя поверхность внутри реактора плазмы, иногда вызывал ион нейтральной частью.
Эта аппаратура режущей кромки также измеряет тариф низложения, энергию иона, поток иона и напряжение смещения.
Коэффициент между нейтралями и ионами приезжая на поверхность, оно пристрастное или заземленный теперь измеряемый этой системой groundbreaking.
Датчик Кванта одиночный измеряет часть иона нейтральную или часть ионизацией потока приезжая на поверхность внутри реактора плазмы. Он также измеряет тариф низложения, энергию иона, поток иона и напряжение смещения на любом положении внутри реактора плазмы. Датчик Кванта одиночный или gridded микровес кристалла кварца широко использованы в много участков через индустрию и исследование, как низложение плазмы, покрытия, брызгать плазмы, луч PECVD, вытравливания и иона. Датчик Кванта одиночный обеспечивает часть ионизацией потока, измерение которое жизненно важно в большинств применениях плазмы но до сих пор очень трудн для того чтобы достигнуть. Коэффициенты ионизацией находят применения в исследовать рецепты новых процессов, подтверждать новые и модели и могут быть использованы в развитии новых инструментов и процессов плазмы.
