Описание
Одноместный датчик Semion является анализатором энергии запаздывающих полей (RFEA). Он размещается в любом месте внутри плазменного реактора и измеряет энергию ионов, попадающих на поверхность с помощью одного измерительного датчика.
Этот анализатор замедляющего поля (RFA) является фундаментальной плазменной диагностикой для измерения функции распределения энергии ионов, а также для измерения потока ионов, отрицательных ионов, температуры и напряжения смещения (Vdc).
Система Semion позволяет осуществлять мониторинг процессов in situ, подтверждение моделей, разработку новых процессов и исследовательских приложений в режиме реального времени в месте нахождения субстрата.
Семен, иногда называемый анализатором потенциала замедления, измеряет энергию ионов и производит функцию распределения энергии ионов (IEDF), поток ионов, отрицательные ионы, температуру и Vdc на позиции подложки внутри плазменного реактора. Энергоанализатор Semion с замедлением роста (RFEA) широко используется во многих отраслях промышленности и научных исследований, таких как плазменное травление, нанесение покрытий, плазменное напыление, PECVD и ионный луч. Semion Single Sensor является ключевым плазменным диагностическим прибором, который может подтвердить модели, помочь в разработке новых процессов и экспериментах, использующих плазму, проектирование плазменных инструментов и исследования плазмы.
Анализатор энергии одного датчика замедления поля Semion состоит из заменяемого кнопочного датчика, установленного в держателе датчика, который подключается к вакуумному входу, питанию которого служит 19-дюймовый блок электроники, установленный в стойку.
