Description
Minilock-фантом RIE ICP предварительная система вытравливания высокой плотности с loadlock вакуума и индуктивно соединенным источником плазмы. Он был конструирован для того чтобы обеспечить новаторское, процессы ведущей кромки. Небольшой след ноги и крепкий дизайн делают его идеальным как для исследования, так и для промышленных сред
