Description
Усовершенствованный зонд Ленгмюра для диагностики плазмы
Регулярный мониторинг I-V характеристики плазмы с помощью зонда Hiden ESPion дает прямую информацию о стабильности и воспроизводимости плазмы. Автоматическая экстраполяция параметров плазмы в реальном времени дает подробную информацию о свойствах плазмы для использования при определении характеристик и контроле однородности.
Плазменная характеризация
Плазменное травление и ALE
HiPIMS
Алмазоподобное углеродное покрытие (DLC)
Нанесение покрытий импульсным лазерным осаждением (PLD)
Магнетронное осаждение пленок SiBCN на постоянном токе
В системе ESPion в качестве стандартных моделей анализа плазмы используются Orbital Motion Limited (OML) и Allen Boyd Reynolds (ABR).
Автоматический Z-привод Hiden обеспечивает пространственно разрешенные измерения во всем объеме плазмы. Стандартными вариантами перевода Z-привода являются: 300, 600 и 900 мм.
скорость сбора данных 15 сканов в секунду с интерфейсом D-O-E для автоматического, полу- или ручного анализа
Hiden является пионером в области пассивной радиочастотной компенсации
ESPion имеет самый высокий блокирующий импеданс среди всех коммерчески доступных устройств
4.25 МОм на частоте 13,56 МГц по сравнению со 100 кОм
Многоиндукторная цепь с газовым охлаждением для работы с высокотемпературной плазмой
Многоиндукторная цепь с газовым охлаждением может быть заменена пользователем для настройки на другие частоты
Эталонный зонд компенсирует низкочастотные эффекты
например, сдвиг потенциала плазмы (например, анодированные стенки камеры) или шум (например, источник питания)
ESPion обладает самыми быстрыми характеристиками импульсной плазмы среди всех коммерческих зондов
ESPionSoft содержит все необходимые схемы стробирования в стандартной комплектации
варианты с автоматическим линейным приводом 300, 600 или 915 мм
Доступны варианты с блокированным запорным клапаном, зондами 90°, комбинированными линейно-поворотными приводами
Цикл самоочистки для ограничения загрязнения наконечника зонда
