Description
Плазменная обработка плазмой становится все более привлекательной на рынке полупроводников. Штампы становятся все меньше и тоньше, и производители сталкиваются с такими трудностями, как растущие потери материала из-за ширины линии нарезки, механические повреждения штампов из-за сколов и все более длительное время обработки из-за поточной механической нарезки.
Плазменный нарезчик Panasonic APX300-DM решает эти проблемы и одновременно обеспечивает более высокое качество продукции при более низкой себестоимости. Идеально подходит для тонких, хрупких и ультратонких пластин, бесконтактная нарезка без повреждений, без частиц, без напряжений и с высокой прочностью матрицы, а также позволяет выполнять сверхузкую нарезку с шириной 20 мкм. Пластины до 300 мм и запатентованная лента и рама защищают от воздействия плазмы во время обработки.
— Возможность установки от одной камеры до масштабируемого кластера камер
— Процесс без частиц и повреждений
— Повышение прочности микросхем и увеличение выхода продукции
— Panasonic APX300 имеет сертификат CE
Технологический газ — 4 линии (стандарт) (максимум 6 линий: хлорированный газ, фтористый газ, Ar, O2, He и т.д.)
Размер пластины * — φ100 мм пластина с плоской ориентацией (стандарт)
[*1]
Размеры (мм) — Ш 1,350 × Г 2,230 × В 2,000 (не включает сенсорные панели, панель управления и сигнальную башню)
Масса — 2 100 кг (зависит от конфигурации машины)
Источник питания * — 3-фазный переменный ток 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 В, 50 / 60 Гц, 21,00 кВА
[*2]
Пневматический источник — от 0,5 МПа до 0,7 МПа, 250 л/мин (A.N.R.)
Источник N2 — от 0,1 МПа до 0,2 МПа, 50 л/мин (A.N.R.)
