Описание
1. Одинаковая конструкция вакуумных отсеков 795 мм позволяет пользователям свободно менять расположение насоса, газоотделения и катодного отсека, что повышает гибкость процесса.
2. Новая конструкция устройства газоотделения позволяет избежать дрейфа газа между катодными отсеками и достичь лучшего эффекта газоотделения.
3. Экструдированная алюминиевая опорная труба позволяет изолировать магнит и его ярмо от охлаждающей воды, чтобы избежать изменения магнитного поля из-за длительного пребывания в воде.
4. Оснащен 5-9 коллекторами вспомогательной системы технологического газа, каждый из которых может быть различным в зависимости от требований процесса
5. Высокая точность управления транспортировкой может быть обеспечена серводвигателями.
6. Уменьшение объема входной и выходной камер для повышения эффективности и снижения затрат.
7. Интегрированная катодная крышка достигает идеального сочетания, помещая газовый коллектор, контроллеры, соединения для электропитания и различные среды в «коробку», что делает конфигурацию процесса более гибкой.
8. Каждый катод оснащен независимой системой управления.
9. Цельная конструкция крышки позволяет легко осуществлять механический и гидравлический подъем, что позволяет достичь лучшего автоматического управления.
10. Использование передовых турбомолекулярных насосов maglev и винтовых линейных насосов предотвращает загрязнение от обратного потока масла и делает его более надежным и эффективным.
