Описание
ADPC 302 — это уникальная система внутрипроизводственного контроля загрязнений для мониторинга загрязнения частиц в полупроводниковой промышленности.
Эффективный мониторинг частиц
Частицы субмикрометра могут вызывать дефекты, которые могут привести к значительной потере урожая. Даже мельчайшие частицы размером 0,1 мкм могут повредить структуру полупроводниковых чипов.
Инновационный ADPC 302 измеряет количество частиц в транспортирующих пластинах (единая капсула с фронтальным открыванием, FOUP и транспортная коробка с фронтальным открыванием, FOSB). Полностью автоматизированный запатентованный процесс локализации и подсчета частиц с поверхности носителя, включая дверцу.
Квалифицированная ведущими производителями, эта система может быть использована как для серийного производства, так и для анализа НИОКР. Основные области применения — характеристика носителя, оптимизация стратегии очистки и проверка качества очистки.
Преимущества
Сухой процесс (Счетчик сухих частиц) ПЭВД показывает явные преимущества по сравнению с традиционным мокрым методом (Счетчик жидких частиц). Основным преимуществом сухого процесса является то, что измерение частиц полностью автоматизировано. Он интегрирован в производственный процесс и поэтому не требует времени за пределами производственного периода. Благодаря полностью автоматизированному измерению процесс не требует дополнительного оператора. Время тестирования составляет всего семь минут, что означает, что ADPC 302 работает в четыре раза быстрее, чем традиционные системы. Восемь транспортных коробок можно протестировать за один час.
