Описание
Серия GP200 — это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников.
P-MFC серии GP200 имеет запатентованную архитектуру, которая позволяет преодолеть ограничения обычных P-MFC и обеспечить наиболее точную подачу технологического газа даже при подаче технологических газов с низким давлением пара. Она включает несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик дифференциального давления в сочетании с архитектурой клапана нисходящего потока, что обеспечивает наиболее точную подачу технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон технологических условий, она может использоваться в качестве замены и модернизации многих традиционных P-MFC и тепловых MFC. Он снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и преобразователи.
Получите более подробную информацию о конструкции серии GP200 и посмотрите, как она работает.
Характеристики
Истинное измерение дифференциального давления
Работа при пониженном давлении на входе
Архитектура клапана нисходящего потока
Соответствующая переходная характеристика
Регулирующий клапан с нулевой утечкой
Технология MultiFloTM обеспечивает беспрецедентную гибкость — одно устройство может быть запрограммировано на тысячи различных конфигураций газа и диапазона расхода без удаления MFC из газовой линии или снижения точности
Местный дисплей отображает расход, температуру, давление и сетевой адрес
DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы
