Description
Передовая технология испарения позволяет получать более чистый и эффективный пар.
Многие промышленные и полупроводниковые процессы требуют преобразования жидкостей, включая воду и другие жидкие прекурсоры, в высококонтролируемые и чистые пары.
Испарение — это фазовый переход из жидкой фазы в газовую. Таким образом, испаритель — это любая система, которая переводит жидкий материал в газообразное состояние. Хотя испарение осуществляется различными способами, все современные испарители, например водяные, имеют несколько общих
характеристик::
Повышение температуры и/или снижение давления жидкости
Закрытые системы для улавливания и контроля потока пара
Использование системы обратной связи и контура управления для регулирования скорости испарения
ОСНОВНЫЕ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
Испарение/охлаждение воды
Химическое осаждение паров
Нанесение тонких пленок для улучшения тепловых, оптических или твердостных характеристик
Испарение мономеров для получения вакуумных полимерных пленок
Получение калибровочных паров
Испарение жидких углеводородов
