Description
Выравниватель пластин HPA надежно выравнивает прозрачные, полупрозрачные и непрозрачные пластины. Независимо от того, используется ли стандартный процесс, процесс деформации или процесс контакта краев, новые модели выравнивают пластины диаметром от 2 до 12 дюймов всего за несколько секунд. Для центрирования и углового выравнивания пластин используются три подвижные оси HIWIN с приводом шпинделя. В зависимости от модели выравнивателя используется блок X-Y или блок X-Z. Благодаря своей компактной конструкции серия HPA также идеально подходит для интеграции в сложные системные концепции. Идеально подходящие для применения в полупроводниковой промышленности, выравниватели пластин серии HPA подходят для чистых помещений класса ISO 3.
