Description
Высокая динамика с большой апертурой
— Параллельная кинематика для ускорения времени отклика и повышения точности по нескольким осям
— Высокоточная система направляющих изгиба с нулевым люфтом
— Выдающийся срок службы благодаря пьезоприводам PICMA®
— Чистая апертура 66 мм × 66 мм
— Высочайшая линейность благодаря емкостным датчикам
— Метрология
— Интерферометрия
— Фотоника / интегральная оптика
— Литография
— Нанопозиционирование
— Сканирующая микроскопия
— Выравнивание образцов
— Микрообработка
Субнанометровое разрешение с емкостными датчиками
Емкостные датчики измеряют с субнанометровым разрешением без контакта. Они гарантируют превосходную линейность перемещения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц.
Автоматическая конфигурация и быстрая замена компонентов
Механизмы и контроллеры можно комбинировать по мере необходимости и быстро заменять. Все параметры сервопривода и линеаризации хранятся в ID-чипе разъема D-sub механики. Функция автокалибровки цифровых контроллеров использует эти данные при каждом включении контроллера.
Выдающийся срок службы благодаря пьезоактуаторам PICMA®
Запатентованные пьезоприводы PICMA® имеют цельнокерамическую изоляцию. Это защищает их от влаги и разрушения в результате увеличения тока утечки. Срок службы приводов PICMA® в десять раз больше, чем у обычных приводов с полимерной изоляцией. доказано 100 миллиардов циклов без единого отказа.
