Описание
Многодиапазонный плазменный технологический монитор C10346-01 представляет собой систему, специально разработанную для мониторинга оптических плазменных выбросов, которые создаются в ходе различных процессов производства полупроводников, включая травление, напыление, очистку и CVD. MPM может обрабатывать многоканальную запись в режиме реального времени.
Спецификации
Номер типа : C10346-01
Диапазон длин волн: от 200 нм до 950 нм
Точность длины волны : ±0,75 нм
Разрешение по длине волны (FWHM) : <2 нм
Источник питания : AC100 В до AC240 В (50 Гц/60 Гц)
Потребляемая мощность: прибл. 70 ВА
Цифровой выходной модуль (Определение выходного сигнала) : TTL максимум 5 каналов (3 канала максимум при использовании триггерного сигнала измерения)
Клемма цифрового входа (сигнал запуска запуска измерения) : TTL 1 канал Использование канала TTL 5
Цифровой выходной модуль (сигнал шины) : TTL 1 канал Используя TTL 4 канала
Аналоговый выходной разъем: 2 канала от 0 В до 10 В
Коннектор зонда волоконного кабеля : SMA
Свяжитесь интерфейс : Тип B USB 2.0
Рабочая температура окружающей среды: от +10 ˚С до +30 ˚С
