Описание
Tropel® FlatMaster® MSP (Multi-Surface Profiler) — это частотно-шаговый интерферометр, обеспечивающий быструю и точную метрологию полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм. За несколько секунд собирается до 3 миллионов точек данных с субмикронной точностью, что позволяет определить общую толщину и плоскостность по всей поверхности.
FlatMaster MSP обеспечивает надежную метрологию для различных приложений — от сложных компонентов и узлов до прозрачных материалов и метрологии полупроводниковых пластин. FlatMaster MSP-DH сконфигурирован для одновременного измерения двух сторон детали или узла, обеспечивая абсолютные измерения толщины и параллельности.
Возможность измерения плоскостности, толщины и изменения толщины 300-миллиметровых стеклянных и кремниевых пластин имеет решающее значение для успешной интеграции сборок 3DIC. Традиционные контактные датчики или обычные интерферометрические системы слишком медленны или не обладают необходимой точностью для больших полей зрения.
