Описание
Серия CCD электрический сверхвысокий вакуумный шиберный клапан
Применимый диапазон (Па) — 105～1.3×10-7
Скорость утечки газа (Па.Л/С) — ≤1,3×10-7
≤1.3×10-7
Обжарка клапана temperature（℃） — ≤150 (кроме приводного устройства)
Разность давлений при открытии пластин клапана (Па) — ≤3×103
Давление питания — AC220V/50Hz
Время включения или выключения S — ≤50
