Описание
D700uF (Micro Flow) предназначен для работы с потоком ≤ 5SCCM.
контроль расхода ≤ 5SCCM очень важен в процессах с высоким аспектным отношением
Специализированные компоненты и недавно разработанный собственный стандарт низкого расхода позволяют с высокой точностью контролировать расход до 0,025SCCM.
Возможность контроля расхода до 0,025SCCM
Точное управление настроечным газом, улучшающее настраиваемость процесса
≤ 100 мс Ступенчатый отклик и контроль отклонений между МФЦ и МФЦ
Обеспечивают высокую производительность и улучшают технологические характеристики
Собственная метрология потока
Надежная работа всех производимых изделий
Функция мониторинга состояния
Предоставление большего количества внутренних данных для более точного прогнозирования отказов
Улучшенное перекрытие клапана и устойчивость к коррозии благодаря соплу из PFA
Надежность с меньшим риском попадания частиц сокращает время простоя и оптимизирует выход продукции
