Description
Измерение абсолютного давления имеет решающее значение для большинства вакуумных процессов в различных отраслях промышленности, включая полупроводниковую, FPD, HDD, PV и нанесение покрытий. Емкостной манометр определяет общее давление по деформации мембраны, которая возникает при приложении разности давлений к обеим сторонам мембраны. Сильными сторонами емкостного манометра по сравнению с другими методами являются:
-Большая точность
-Меньшая зависимость выходного давления от газа
-Относительно устойчив к коррозионным газам
Особенности
Компактная самонагревающаяся конструкция
Оригинальный метод обработки сигнала для точного измерения
Мембрана из SUS316L
Возможность выбора типа с контролем температуры (55, 100°C) или без нагрева
ONE PUSH ReZero
Требования к питанию +/-15 В постоянного тока или 24 В постоянного тока
Соответствие стандартам CE и RoHS
