Description
Монитор концентрации химических веществ на основе оптического волокна, предназначенный для измерения концентрации химических веществ, используемых в процессах производства полупроводников, таких как очистка и травление.
Возможно измерение концентрации высокотемпературных химикатов, необходимых для передовых мокрых процессов. Обеспечивает быстрые, стабильные и компактные решения, позволяющие оптимизировать и повысить точность управления химическими процессами.
Стабильное измерение высокотемпературных химических веществ
Благодаря усовершенствованным оптическим системам и алгоритмическим процедурам стало возможным получать стабильные измерения химических растворов даже в условиях высокой температуры (20-80℃) без необходимости корректировки или дополнительной обработки. Кроме того, оператору не требуется охлаждать химические вещества.
Поддерживается до шести типов химических веществ (реагентов или диапазонов)
С помощью одного монитора можно измерять до шести типов химических веществ (химикатов или диапазонов). Необходимые типы химикатов или диапазоны могут быть свободно заданы для измерения, что позволяет удовлетворить широкий спектр потребностей в измерениях.
Стабильное измерение высокотемпературных химических веществ
Благодаря усовершенствованным оптическим системам и алгоритмическим процедурам стало возможным получать стабильные измерения химических растворов даже в условиях высокой температуры (20-80℃) без необходимости корректировки или дополнительной обработки. Кроме того, оператору не требуется охлаждать химические вещества.
Поддерживается до шести типов химических веществ (реагентов или диапазонов)
С помощью одного монитора можно измерять до шести типов химических веществ (химикатов или диапазонов).