Description
Это самая продаваемая модель цифровых контроллеров массового расхода HORIBA. Он имеет функции мультидиапазона/мультигаза, позволяющие пользователям быстро и легко изменять тип газа или полномасштабный расход на месте.
Благодаря высокой точности +/- 1,0% S.P, клапану с пьезоприводом, высокой скорости срабатывания и цельнометаллическому корпусу этот контроллер массового расхода подходит для повышения производительности процесса и упрощения управления деталями. Доступны цифровые/аналоговые, DeviceNet™ и EtherCAT® коммуникации.
Высокая точность ±1,0% S.P.
Линейность этого регулятора массового расхода компенсируется полиномиальной аппроксимированной кривой и обеспечивает высокую точность во всех диапазонах регулирования расхода. Для повышения точности измерения фактического газа калибровочные данные различных технологических газов измеряются стандартной газоизмерительной системой HORIBA STEC.
Высокоскоростное реагирование
Установлена «система переменного ПИД-регулятора», которая позволяет достичь 1 секунды реакции между любыми двумя заданными значениями. Переменный ПИД непрерывно изменяется в зависимости от настройки точки расхода. Это позволяет оптимизировать коэффициент ПИД при изменении полномасштабного расхода и газов.
Решение для нескольких газов/ нескольких диапазонов
Программное обеспечение для конфигурирования позволяет быстро и легко изменять технические характеристики. Одна из ключевых особенностей заключается в том, что изменения можно вносить, не снимая контроллер массового расхода с газовой панели или трубопровода. Это позволяет сократить количество необходимых запасных контроллеров массового расхода, что экономит время и средства.
Контроллер массового расхода SEC-Z500X подходит для различных областей применения, а также для производства полупроводников.
