Description
Технологический модуль SPTS Omega® SynapsEtch использует источник плазмы высокой плотности для травления прочно связанных материалов. Технологический модуль травления SPTS Omega SynapsEtch нагревается и имеет магнитную камеру, обеспечивающую более высокую плотность плазмы по сравнению с обычными ИСП (в ~10 раз). Такая высокая плотность плазмы позволяет достичь более высоких скоростей травления для прочно связанных материалов. Omega SynapsEtch регулярно используется для травления глубоких элементов в диэлектрических материалах, включая оксид кремния, кварц и стекло. Другие материалы с низкой летучестью, такие как SiC, AlScN, также легко обрабатываются модулем Omega SynapsEtch. Omega SynapsEtch совместим с платформами для обработки пластин LPX, c2L или fxP, а также интегрирован с различными модулями травления и осаждения SPTS на кластерной платформе Versalis™.
— Уникальная конструкция источника создает высокую плотность ионов для увеличения скорости травления прочно связанных материалов
— Нагреваемая технологическая камера для увеличения среднего времени до очистки (MTBC)
