Описание
Рентгеновская система размерной метрологии Axion® T2000 производит высокоразрешающие, быстрые, точные, неразрушающие 3D-измерения формы структур с высоким соотношением сторон, используемых в передовых 3D-чипах NAND и DRAM. Используя инновационную рентгеновскую технологию, Axion T2000 определяет тонкие структурные изменения (изгиб, изгиб, профиль CD, глубину травления, эллиптичность, наклон и многое другое), которые могут повлиять на производительность и выход устройств памяти. Благодаря измерениям, проводимым в режиме реального времени и без разрушения, Axion T2000 помогает производителям памяти достичь быстрого цикла обучения в ходе НИОКР, заменяя собой разрушительные методы с длительным временем выполнения, такие как FIB-SEM, TEM и SEM поперечного сечения. Axion T2000 также используется для определения характеристик, мониторинга и контроля ключевых этапов технологического процесса во время крупносерийного производства, обеспечивая быстрое выявление и устранение проблем для поддержания стабильного производства.
Области применения
Определение характеристик и оптимизация процессов, инженерный анализ, мониторинг последовательных процессов, мониторинг инструментов для травления, квалификация инструментов для травления после МП
