Описание
Высокопроизводительные инспекционные системы широкого диапазона для узорчатых пластин
Системы контроля образцовых пластин серии 8 обнаруживают широкий спектр типов дефектов с очень высокой производительностью для быстрого выявления и решения проблем производственного процесса. Системы серии 8 обеспечивают экономически эффективный контроль дефектов при производстве микросхем на 150-, 200- или 300-миллиметровых кремниевых, SiC, GaN, стеклянных и других подложках, начиная с начальной разработки продукта и заканчивая серийным производством. В инспекторе последнего поколения 8935 используются новые оптические технологии и методы точного контроля области DesignWise® и FlexPoint™ для выявления критических дефектов, которые могут стать причиной отказов микросхем. Технология искусственного интеллекта DefectWise® позволяет быстро разделять типы дефектов на линии для улучшения обнаружения дефектов и их сортировки. Благодаря этим инновациям модель 8935 обеспечивает высокопроизводительный отбор дефектов, связанных с выходом продукции и надежностью, при низком уровне шума, помогая производителям микросхем ускорить выпуск своей продукции — надежно и с меньшими затратами. Инспекторы серии 8 поддерживают мониторинг дефектов во время изготовления широкого спектра передовых и устаревших типов устройств, включая логику, память, устройства питания, светодиоды, фотонику, радиочастотные устройства и МЭМС. Системы серии 8 также поддерживают контроль качества при производстве линз AR/VR и жестких дисков (HDD).
Области применения
Монитор процесса, монитор инструмента, исходящий контроль качества (OQC)
