Description
Волоконно-оптические датчики температуры для полупроводников в системах травления и осаждения
Luxtron® M-1100 компании Advanced Energy — это новейшая платформа преобразователя FluorOptic® thermometry (FOT), оснащенная усовершенствованным источником света и улучшенной сверхмалошумящей электроникой. Разработаны две новые запатентованные формулы люминофоров VioLuxTM и RubiLuxTM, обеспечивающие точность, повторяемость и стабильность 0,5°C в расширенном диапазоне от -200 до 450°C
Диапазон измерений от -200 до 450°C для поддержки современных процессов травления
Усовершенствованная малошумящая электроника и алгоритмы обеспечивают точность более 0,05°
Датчики AccuDisc™ позволяют отделить датчик от зонда, что повышает точность и повторяемость измерений
Опытные специалисты помогут OEM-производителям разработать датчик по индивидуальному заказу
Компактные размеры на DIN-рейку для минимизации занимаемой площади при встраивании в инструменты и оборудование
Невосприимчивость к электромагнитным помехам от источников ЭМИ, радиочастот, высокого напряжения и микроволн
Преимущества
Бесконтактное измерение для минимизации теплового смещения
Простота установки в OEM-оборудование
Особенности
Широкий поддерживаемый диапазон температур
Низкий уровень шума при высокой скорости отклика
5 каналов в одном преобразователе
Гибкие коммуникационные выходы
