Description
Модульная конструкция, состоящая из многополосного загрузочного устройства, метрологического устройства и устройства отвода ячеек, позволяет оптимально адаптировать линию загрузочных ячеек к производительности, количеству дорожек и требованиям к пространству. Для последующего клеточного процесса пластины передаются либо с одной или двух загрузочных дорожек на десять дорожек, либо с одной дорожки на пять дорожек.
Для удовлетворения более высоких требований к контролю качества к системам могут быть добавлены дополнительные опции контроля (распознавание отверстий и трещин, измерение поверхности, измерение срока службы и сопротивления).
Контроль качества до начала процесса
Высочайшая производительность до 7600 пластин в час
Подходит для технологических систем, включающих до десяти дорожек
Устранение поломок до начала работы метрологических систем
