Поставки оборудования по России

Перегрузочный робот паук 5 осей для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин

Описание

Робот переносит пластины (или ячейки) с входящей ленты на различное количество дорожек от одной до пяти на выходящей ленте — и наоборот.

Кроме того, пластины могут быть отсортированы в лотки или извлечены из лотков. Отдельные ленты подают пластины в машину и выводят их из машины, поэтому для пластин разного размера не требуется переналадка и гарантируется бережная транспортировка.

Встроенная система камер определяет положение, дефекты и перекрытие пластин. Несовмещенные пластины будут установлены в правильное положение, а поврежденные и перекрывающиеся пластины будут удалены.

Был разработан специальный захват Бернулли, обеспечивающий бережный и бесконтактный захват.

Высокая пропускная способность 4 000 пластин/ч
Хранение в мобильных и сменных ящиках
Обнаружение двойных и сломанных пластин и удаление в бокс
Обнаружение дефектных 6″-пластин и отдельное удаление в коробки дает возможность преобразовать пластины в 5″-пластины
Дополнительное обнаружение и удаление поломок на конечном пути для предотвращения накопления в следующем процессе
Подготовлен для алмазной резки пластин
Простота обслуживания благодаря хорошей доступности

Детали

Бренд

SCHMID