Description
Системы газоочистки GateKeeper® GateKeeper®
Серия носителей GPS (HX, DX и Z2) поставляет ряд очищенных газов в расчете на триллион частей (ppt) при низкой стоимости владения
Максимальный расход в диапазоне от 311 УУЗР до 932 УУЗР
Области применения включают инструменты для погружной литографии, производство полупроводников и светодиодов
Очистители автоматически самовосстанавливаются, гарантируя непрерывный поток чистого газа
Компактный дизайн использует минимальную площадь производственных помещений для обеспечения экономии средств предприятия
