Описание
На предприятиях по производству сырья и на предприятиях по производству полупроводниковых пластин, входящих в цепочку полупроводниковой промышленности, независимо разработанная оптическая система обнаружения светлого и темного поля используется для обнаружения дефектов внешнего вида полупроводникового сырья, эпитаксиальных пластин и пластин с рисунком.
Преимущества продукции:
Применимо к различным пластинам
Подходит для 4-8-дюймовых пластин, подложек, эпитаксиальных пластин и пластин с рисунком
Может обнаруживать различные дефекты
Обнаружение частиц, ям, неровностей, царапин, пятен, трещин и других дефектов
Высокое разрешение
Разрешение системы: 1-10 мкм
Быстрая скорость обнаружения
Вафля без рисунка: 180 секунд / пластина, если количество дефектов менее 200
