Description
Одноразовые фильтры Planarcap® LPX
Одноразовые фильтры для кварцевых и глиноземных абразивных материалов для оксидов и меди CMP
Предназначен для использования с растворами диоксида кремния и глинозема — чаще всего используется в меди, ILD, STI и вольфрамовых растворах CMP
Доступны в широком диапазоне номиналов удержания от 1 мкм до 5 мкм
Удовлетворяет потребности систем фильтрации шлама CMP в точках использования
Доступны в виде одноразовых фильтров с фитингами Flaretek®
Полностью полипропиленовая конструкция со складчатыми фильтрующими средствами
Материалы:
Средний: Глубина плиссирования полипропилена
Ядро, клетка и раковина: Полипропиленовый
Связи:
Вход/выход: 3/8″ или 1/4″ фитинг Flaretek®
Вентиляция/дренаж: 1/4″ Фитинг Flaretek® для монтажа*
Максимальные условия эксплуатации:
Максимальное рабочее давление: 0,27 МПа (2,7 бар, 40 PSI) при 25°C
Максимальное перепад давления 0,27 МПа (2,7 бар, 40 PSID) при температуре 20°C
Максимальная рабочая температура: 40°C (104°F)
Замечания:
*Артикул SKNP 010L2F доступен с 1/8″ MNPT вентиляционным/дренажным отверстием
