Описание
Приборные пластины Process Probe™ 1530 и 1535 используются для мониторинга температуры на месте для широкого спектра процессов, включая холодную стенку, RTP, напыление, CVD, плазменные стрипперы и эпитаксиальные реакторы. Process Probe 1530 и 1535 обеспечивают прямое измерение температуры пластин в режиме реального времени на каждом критическом этапе технологического цикла. С помощью этих комплексных температурных данных инженеры-технологи могут определять характеристики и точно настраивать технологические условия, повышая производительность технологического оборудования, качество и выход пластин.
Области применения
Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, квалификация технологического оборудования, подбор технологического оборудования
Технологические камеры для тонких пленок с холодной стенкой (1530), технологические камеры для тонких пленок с горячей стенкой (1535) | 0-1100°C
