Описание
Feturces
* — Микроглубинный 3D сканер
* — Высокоскоростные/бесконтактные метрологические измерения
* — Анализ поверхности
* — Непрозрачные/прозрачные
Применения,
* Сенсорные панели / солнечные панели / пластины
* — Микроэлектромеханические (MEMS)
* — Печатная плата для схем высокой плотности
* — пакет ИС
* — Разнообразие функций измерения: контур микроструктуры, размер, толщина слоя, толщина пленки дефекта, дифферент освещенности, угол, шероховатость, плоскостность
-Как это работает
Белый свет имеет короткое затемнение —
Лучшие интерференционные полосы образуются только в положении фокуса, интерференция, вызванная расфокусированным и рассеянным светом, исключается, и положение лучшей интерференционной полосы регистрируется с помощью «высокоскоростной CCD-камеры поверхностного типа». Точечное сканирование не требуется, а «вертикальный сканер» используется для перемещения объектива для записи положения по высоте., можно воспроизвести трехмерную топографию поверхности объекта измерения.
