Описание
Серия RGA, изготовленная аппаратурами MKS, тип отростчатого массового спектрометра. Прибор новаторская аппаратура процесса контроля. Они совмещены с пакетами прикладных программ как остаточные газоанализаторы, RGA, аналитически приборы и контрольная программа.
Контроль вакуума состоит из ультра глубокия вакуума, процессов CVD, базиса RGA вакуума, etc.
