Описание
Масочная система Tropel® UltraFlatTM 200 Mask System была разработана специально для индустрии фотомасок. Он обеспечивает наименьшую погрешность измерений для постоянно ужесточающихся требований к плоскостности маски. Особенности термоусадочных устройств требуют не только более плоских пластин, но и более плоских масок.
Система UltraFlatTM используется для измерения плоскостности фотозаготовок и фотомасок на всех этапах производства и использования, включая полировку подложек, нанесение покрытий и узоров для анализа напряжения пленки и проверки.
В системе UltraFlatTM используется интерферометрия с почти нормальным падением частоты, твердая породная конструкция, самые современные оптические технологии изготовления и известное программное обеспечение Tropel для анализа фазовых сдвигов, обеспечивающее точность измерений 20 нанометров.
Эта система является Национальным институтом стандартов и технологий (НИСТ), отслеживаемым и обеспечивающим измерения в соответствии со стандартами SEMI. Также доступна автоматическая конфигурация обработки и измерения фотомаски.
