Description
PFLOW: Датчики массового расхода воздуха OEM MEMS для медицинских учреждений и систем управления технологическими процессами
С высокой устойчивостью к засорению и ударам давлением
Компания PEWATRON выпустила новый датчик массового расхода воздуха MEMS PFLOW, который включает в себя новейшие разработки MEMS и микроэлектроники. Датчик PFLOW обладает очень высокой устойчивостью к засорению и ударному давлению. Благодаря инновационному дизайну тепловой изоляции MEMS для теплоизоляции не требуются хрупкие тонкие мембраны или поверхностные полости. Датчик обладает очень высокой чувствительностью при низких потоках и поэтому идеально подходит для медицинского и продвинутого применения в обрабатывающей промышленности.
Фильтр датчика потока состоит из двух симметрично расположенных вверх и вниз по течению от нагревательного элемента, который нагревает стыки нагревателей. Каждая термопара состоит из 20 последовательно расположенных термопар для достижения наивысшего уровня чувствительности. Когда поток проходит через матрицу, термопары генерируют выходное напряжение, пропорциональное градиенту температуры (асимметричному) между горячим и холодным соединением из-за эффекта Сибекка. В случае, если среда является статической (без потока), температурный профиль как вверх, так и вниз по течению симметричен.
Предлагаются пять стандартных диапазонов измерения от 0…10 до 0…2000 SCCM, а также диапазоны измерения в диапазоне от 10 до 2000 SCCM, соответствующие требованиям заказчика. Точность выше +/-2,0% FS, а аналоговый выход с температурной компенсацией (0…50°C) имеет высокую линейность с потоком. Выходное аналоговое напряжение составляет от 1 до 5 В постоянного тока, а датчик устойчив к конденсации воды. Время отклика очень быстро, около 1-3 мс.
