Описание
Эта платформа гибридная плоскостная платформа механических/воздуха подшипника предназначенная для того чтобы шагнуть и просмотреть применения. Платформа 6 осей двигая в направления x, y, z и тэты. Динамическая плоскостность над полным перемещением так же, как двухнаправленная повторимость определяющие параметры.
Эта платформа в настоящее время использована внутри:
— Применения управления производственным процессом вафли как критический размер и метрология тонкого фильма.
— Размечать вафли
— Отжиг лазера вафли термальный
Оно могло также быть использовано в задних машинах литографированием конца линии (aligners маски) и в некотором применении вафли dicing.
Эта платформа отличает:
— Плоскостность движения, который дал подшипник воздуха
— Неограниченное вращение в тэте
— Двойная интеграция z: Грубое перемещение для нагружать/разгружая и точное перемещение для adjustement фокуса
— Buit-в компенсаторе силы тяжести в z (патент заявлен)
— Коррекция рыскания может быть сделана немножко переносить моторы Y1 и Y2
— Смогите более в дальнейшем быть интегрировано с активной системой изоляции полно контролируемой ETEL
— Перемещения в x и y можно сделать более длиной с некоторыми ограничениями на представлении
Основные спецификации:
— Полный ход: 320 mm на XY x 12 mm для z
— Скорость: 1,2 m/s для XY, 0,1 m/s для z и 15,7 rad/s для t
— Ускорение: 1,2 g для XY, 0,2 g для z и 104,7 rad/s2 для t
— Стабильность положения: ±25 nm для XY, arcsec ±15 nm для z и ±0.2 для t
— Двухнаправленная повторимость: µm ±0.4 для XY, µm ±0.3 для z и arcsec ±2 для t
