Описание
Вводя прекурсор в плазму после разряда, ULCoat наносит тонкие слои на обрабатываемую поверхность.
ULCoat — это система, которая испаряет и впрыскивает прекурсор под плазменное сопло. ULCoat используется в сочетании с генератором OMEGA ULS.
Стандартная установка была разработана для осаждения SiOx с использованием металлоорганического прекурсора. Однако по запросу могут быть разработаны другие рецепты.
Лаборатория разработки процессов AcXys Technologies к вашим услугам для разработки приложения, отвечающего вашим потребностям, в рамках контракта на исследования и разработки.
Технология ULCoat
— Соединяется с модулем ULS OMEGA
— Используется для осаждения тонких слоев
— Регулируемая толщина от 50 до 1000 нанометров
— Равномерная толщина с отклонениями +/- 2%
— Скорость обработки до 200 нм.см2 / с
— Стандартная версия оптимизирована для осаждения SiOx
Инжекционное сопло
Поток прекурсора контролируется перед его инжекцией в плазму. Этот модуль сочетает в себе следующие элементы:
— резервуар для прекурсора
— Контроль потока прекурсоров
— Контроль потока газа
— Нагревательный компонент (опция)
Интуитивно понятный цифровой интерфейс сенсорный экран
— Встроенный сенсорный экран (выносной, если требуется OEM)
— Интуитивное управление
— Многоязычный интерфейс
— Обнаружение ошибок и устранение неисправностей
— Отображение инструкций в реальном времени
Совместимый газ
— Воздух
— Азот
— Другие газовые смеси
