Description
Компактные, проверенные манометры без подогрева для экономически эффективного измерения вакуума.
Емкостные манометры серии CMC от Brooks Instrument обеспечивают надежное и точное измерение вакуума в широком диапазоне рабочих температур, являясь экономичной альтернативой более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Компактная конструкция и проверенные рабочие характеристики делают их идеальной модернизацией для существующих инструментов, нуждающихся в манометре малого форм-фактора.
Надежная и повторяемая работа обеспечивается даже в самых агрессивных процессах благодаря цельносварной конструкции и смачиваемым поверхностям Iconel®. Сочетание прецизионных компонентов и широкого рабочего диапазона с температурной компенсацией позволяет Brooks обеспечивать лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и размаха для оптимальной стабильности измерений
Особенности
— Доступны для диапазонов процессов от 10 Торр до 1000 Торр
— Доступны два уровня точности: 0.25% или 0,50% от показаний (опционально)
— Исключительная производительность в широком диапазоне рабочих температур
— На 40% меньше традиционных емкостных манометров без подогрева
— Цельносварная конструкция и смачиваемые поверхности из Inconel®
Преимущества
— Дополнительная высокоточная калибровка соответствует точности более дорогих манометров премиум-класса без подогрева
— Лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и диапазона
— Компактная конструкция помогает разместить прибор в ограниченном пространстве станка
— Оптимальная повторяемость измерений по сравнению с другими конструкциями, которые подвержены внутренним напряжениям, вызывающим ошибки
Области применения
Производство полупроводников
Процессы тонкопленочного осаждения — стекло, полотно и оптические покрытия
Сублимационная сушка скоропортящихся материалов
Высокотехнологичные покрытия для медицинских инструментов (хирургические инструменты, стоматологические сверла и т.д.)
