Description
VASE® — это точный и универсальный эллипсометр для исследования всех типов материалов: полупроводников, диэлектриков, полимеров, металлов, многослойных материалов и др. Он сочетает в себе высокую точность и прецизионность с широким спектральным диапазоном — от 193 до 3200 нм. Переменная длина волны и угол падения позволяют проводить гибкие измерения, включая:
— Эллипсометрия отражения и пропускания
— обобщенная эллипсометрия (анизотропия, ретардантность, двулучепреломление)
— Интенсивность отражения (R) и пропускания (T)
— Кросс-поляризованный R/T
— Деполяризация
— Скаттерометрия
— Матрица Мюллера
Максимальная точность данных
VASE оснащен эллипсометром с вращающимся анализатором (RAE) в сочетании с нашим запатентованным AutoRetarder® для непревзойденной точности данных.
Высокоточный выбор длины волны
Сканирующий монохроматор разработан специально для спектроскопической эллипсометрии. Он оптимизирует скорость, точность выбора длины волны и пропускную способность, при этом автоматически контролируя выбор длины волны и спектральное разрешение.
Гибкие измерения
VASE оснащен вертикальным креплением образца, позволяющим проводить измерения в самых разных геометриях, включая отражение, пропускание и рассеяние.
Технология AutoRetarder®
Эллипсометры с вращающимся анализатором (RAE) максимизируют точность данных вблизи условия «Брюстера» — когда данные Ψ/Δ богаты содержанием. Однако эта область может быть ограничена для образцов с пониженным сигналом. Запатентованный авторетардер представляет собой управляемую компьютером волновую пластину, которая изменяет поляризацию светового луча до того, как он достигнет образца. Это обеспечивает оптимальные условия измерения для любого образца — при любых условиях.
AutoRetarder точно измеряет:
— Ψ и Δ во всем диапазоне!
