Description
Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) — это тонкопленочный процесс, в результате которого на поверхность пластины наносятся покрытия из проводящих, полупроводящих или изолирующих материалов. Существуют различные формы PVD: напыление, испарение, ионно-лучевое осаждение. KLA предлагает продукцию, основанную на технологии напыления. В процессе напыления «мишень» представляет собой исходный материал, который бомбардируется ионами из плазмы в технологической камере. Атомы исходного материала выбрасываются или распыляются в плазму, где могут происходить или не происходить реакции (в зависимости от состава технологического газа), а затем конденсируются на поверхности пластины. Система SPTS Sigma® PVD поддерживает размеры пластин от 100 до 300 мм, а кластерная платформа fxP позволяет интегрировать различные виды предварительной обработки и технологии осаждения в зависимости от конкретных технологических требований.
— Обработка одной пластины позволяет повысить выход и производительность на вафле по сравнению с пакетной обработкой.
— Планарная мишень с полнолицевой эрозией
— Быстрая смена мишени, увеличение времени работы
— Надежная обработка хрупких, истонченных или изогнутых пластин
— Опция «Super Uniformity» для специальных применений
— Дегазация нескольких пластин для увеличения производительности при длительной (низкотемпературной) дегазации
