Машина для нанесения покрытий PVD PVD 75 катодным распылением термическим испарением вакуумная

Description

PRO линия серия PVD – разносторонний брызгать, луч электронов, восходящий поток теплого воздуха, &amp, органическая платформа низложения испарения
PRO линия серия PVD использует модульное проектирование конфигурируемое для разнообразие применений низложения тонкого фильма.

Доступный в 3 увеличивая размерах камеры: PVD75, PVD200, и PVD500
Доступный с магнетроном Mag Keeper™ UHV TORUS® совместимым круговым брызгая источники в 2&quot, , 3&quot, , 4&quot, диаметры
Доступный с магнетронами TORUS® линейными
Доступный с источниками испарения луча электронов Мульти-кармана
Доступный со множественными термальными конфигурациями источника испарения
До 2 органических источника испарения доступного
варианты Мульти-метода доступные. Примеры: Луч электронов + брызгающ, луч электронов + испарение
Влажный или сухой грубый нагнетать, насос turbo, или криогенные варианты вачуумного насоса глубокого вакуума насоса доступные
Стандартные конфигурации совместимые с до 11&quot, до 20&quot, субстраты OD (в ожидании размера камеры), до топления 850°C, охлаждая, и склоняя варианты доступные
Варианты одиночных и мульти-вафли нагрузки замка доступные для субстратов до 6&quot,
PRO линия серия инструментов PVD включает пакет предварительным управлением eKLipse™ KJLC новаторский