Description
Мини-камера PVD, на 100% предназначенная для перовскитов
— Может быть интегрирована в существующие перчаточные боксы MBRAUN (через предкамеру)
— Компактный дизайн
— Для подложек размером до 50×50 мм
— До 4 источников
— Однородность слоя < +/-5 %
— Экономичное решение
— Короткое время поставки
— Простая модернизация в существующих перчаточных боксах