Поставки оборудования по России

Ротационный магнетрон CM плоский для ионного распыления

Описание

CM является нашим самым компактным торцевым блоком для наружного монтажа. Он может обрабатывать мишени до 1000 мм и имеет номинальную мощность до 20 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC

Торцевой блок CM для наружного монтажа сочетает в себе высокую производительность и надежность в очень компактной и легкой конструкции.

Особенности

Настраиваемая длина приводного вала
Компактный и гибкий дизайн
Легкий доступ картридж водяного уплотнения
Запатентованная технология энергоснабжения
Запатентованное целевое заполнение воды и слив
Простой дизайн для меньшего количества деталей
Магнитная полоса снаружи регулирует к любому углу

Преимущества

Более широкое покрытие подложки, чем внутренние торцевые блоки
Подходит для большинства камерных конструкций
Все утилиты являются внешними и остаются подключенными во время смены цели
Высокая плотность упаковки, двойные катоды в 220-миллиметровом пространстве (с 80-миллиметровой идентификационной мишенью)
Приводные двигатели могут монтироваться как вверх или вниз, так и внутрь или наружу
Высокая мощность без индуктивного нагрева — нет щеточной пыли
Быстрое, простое, внутреннее обслуживание
Позволяет выполнять со-распыление, более плотное плазменное соединение и ограничивает экранирующее покрытие

Детали

Модель

CM

Бренд

Sputtering Components